MEMS-Mikrofone bestehen im Allgemeinen aus mikrokapazitiven MEMS-Sensoren, mikrointegrierten Konvertierungsschaltungen, akustischen Kammern und HF-Anti-Interferenz-Schaltungen.Der MEMS-Mikrokapazitätskopf umfasst eine Siliziummembran und eine Silizium-Rückelektrode zum Empfang von Schall.Die Siliziummembran kann das Audiosignal direkt empfangen und über den MEMS-Mikrokapazitätssensor an den mikrointegrierten Schaltkreis übertragen.Der mikrointegrierte Schaltkreis wandelt das hochohmige elektrische Audiosignal um und verstärkt es in ein niederohmiges elektrisches Signal, filtert es gleichzeitig durch den HF-Anti-Rausch-Schaltkreis und gibt ein elektrisches Signal aus, das dem Vorschaltkreis entspricht, dem „ „Akustisch-elektrische“ Umwandlung ist abgeschlossen.Durch das Auslesen elektrischer Signale wird die Erkennung von Geräuschen realisiert.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 06.12.2022
